Jul 29, 2025
Полировальный круг
Полировальные круги являются ключевым компонентом процесса химико-механического полирования (ХМП), определяя качество поверхности пластины. Изготовленные преимущественно из таких материалов, как пенополиуретан, они обладают пористой микроструктурой и высокой износостойкостью. Их основные функции включают равномерную передачу давления, накопление полировальной пасты и удаление остатков реакции. Регулировка их твёрдости позволяет оптимизировать однородность распределения полировальной пасты по кристаллу (WID) и между пластинами (WIW). Рисунок канавок напрямую влияет на эффективность распределени