Классификация
- По содержанию абразивов: полировальные диски с абразивами и полировальные диски без абразивов. Абразивные диски используют шлифующий эффект абразивов для удаления материала во время полировки; полировальные диски без абразивов в основном основаны на взаимодействии с полировальной жидкостью и её собственных характеристиках для достижения полировки.
- По материалу: полиуретановые, нетканые и композитные. Полировальные диски широко используются, нетканые мягкие и хорошо впитывают воду, а композитные сочетают в себе преимущества нескольких материалов.
- По структуре поверхности: диски можно условно разделить на плоские, сетчатые и спиральные. Различные структуры по-разному влияют на распределение и поток полировальной жидкости.
Функция
- Транспортировка полировальной жидкости: эффективно и равномерно транспортирует полировальную жидкость в различные области полировального диска, обеспечивая её полную эффективность. - Удаление остатков: В процессе полирования реагенты и отходы, образующиеся после полирования, плавно удаляются, обеспечивая эффективное удаление остатков и предотвращая появление царапин и загрязнение поверхности заготовки остатками.
- Поддержание условий полирования: Поддержание тонкой пленки полировальной жидкости на поверхности полировального круга для полного протекания химической реакции, обеспечивая при этом гладкость процесса полирования и отсутствие деформации поверхности для получения более качественной морфологии поверхности пластины.
Показатели эффективности
- Твёрдость: Определяет способность сохранять точность формы поверхности. Различные задачи полирования требуют выбора полировальных кругов соответствующей твёрдости.
- Степень сжатия: Отражает устойчивость полировального круга к деформации. Полировальный круг с подходящей степенью сжатия может сохранять стабильную форму и производительность в процессе полирования.
- Энергоёмкость: Масса полировальной жидкости, хранимая в единице объёма полировального круга. Полировальный круг с высокой энергоёмкостью лучше удерживает и высвобождает полировальную жидкость.
- Шероховатость: Шероховатость поверхности влияет на эффективность полирования. Различные заготовки и этапы полирования предъявляют разные требования к шероховатости.
- Плотность: Плотность материала полировального круга, тесно связанная с такими свойствами, как твёрдость и износостойкость.
Области применения
- Производство полупроводников: В процессе производства интегральных схем полировальный круг используется для выравнивания поверхности пластин и является ключевым расходным материалом для достижения нанопрецизионной обработки.
- Обработка оптических устройств: полировка плоского стекла, стеклянных подложек ЖК-дисплеев/светодиодов, прецизионных оптических линз и т. д. позволяет улучшить качество поверхности и точность оптических компонентов.
- Автомобилестроение и косметическая промышленность: В производстве автомобильных деталей полировальный круг может улучшить качество поверхности, точность и коррозионную стойкость металлических деталей; в косметической промышленности автомобильный полировальный круг используется для удаления царапин и оксидных слоёв с поверхности лакокрасочного покрытия для восстановления его блеска.
- Другие области применения: полировальный круг также может использоваться для полировки металлов и сплавов, жёстких дисков, керамических материалов и других изделий для удовлетворения требований к качеству поверхности различных материалов и изделий.